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  3. 白色干渉顕微鏡・変位計 Nexensor

白色干渉顕微鏡・変位計(高速・高精度・大面積)

300mmウエハ対応・干渉縞を利用し広い範囲の表面構造を精度よく把握
凹凸や薄膜の厚さ、歪みなどの計測が可能

検査装置や生産ラインへの組み込み用

3D白色干渉変位センサ
顕微鏡から大面積まで高速計測

nXI-5シリーズ/nXI-2シリーズ/nXV-1シリーズ
  • ・組込に向いたモジュールタイプ
  • ・高速白色干渉計測
  • ・100μm角~最大33mm×22mmの計測視野
  • ・段差、幅、角度、体積、粗さ、平坦度などの出力が可能
  • ・ソフトウェア付属

研究・開発・品質管理に最適なスタンドアローンのシステム

高速高精度
3D白色干渉変位顕微鏡・システム

nXI-5SCシリーズ/nXF-3Dシリーズ/nXV-1シリーズ
  • ・300mm(12インチ)のウェハをワンショットで高速に計測
  • ・コンパクトに設置可能な顕微鏡タイプ
  • ・高速で高精度のな3D変位計則
  • ・段差、幅、角度、体積、粗さ、平坦度などの出力が可能
  • ・ソフトウェア付属

コア技術


1.光学技術

・白色干渉法
・分光干渉法
・レーザー干渉法
・モアレ偏光計
・薄膜厚み計測


2.ソフトウェア&アルゴリズム

・光学計測アルゴリズム
・幾何学的解析アルゴリズム
・高速測定アルゴリズム
・測定データ解析機能
・ソフトウェア技術


3.回路・工学設計

・光学光回路設計
・光及びレーザー光源制御
・リアルタイム同期処理
・ミラーデバイス制御
・FPGA、DSP、ARM設計技術

3D分析技術

Nexensor社が独自に開発した3D分析ソフトウェア・プログラムnXviewは、素早く測定結果を表示し、測定したデータから様々な分析を行うことが可能です。
ジオメトリー、プロファイル、ピークカウント、ラフネスなど様々な解析機能が提供されています。

Nexensor社の白色干渉変位計は、半導体ウエハーの大面積から鏡面又は非光沢測定、コーティングやフィルムなどの薄膜膜厚、実装パッケージのμバンプのマルチレイヤー解析、二次電池のシリングなど多種材料の厚み・反り計測に対応できるよう、アプリケーションに合わせてセンサーのモデルをラインアップ、今日の半導体やエレクトロニクス、自動車工場で求められるインラインとオフライン計測の両方に対応できるように設計・開発されています。

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