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- 大面積・広範囲３Ｄ白色干渉変位計 nXI-2
大面積・広範囲３Ｄ白色干渉変位計
製品名
nXI-2
製品名
nXI-2
高速に大面積・広範囲の形状測定
ジオメトリー
プロファイル
ピークカウント
ラフネス
Camera Hole
Coating Thickness
PCB Bumps
Wafer Bumps
仕様
| システム | 測定原理 | ３Ｄ白色干渉・変位計測技術 | ||
|---|---|---|---|---|
| タイプ | Ｓ | Ｍ | Ｌ | |
| サイズ | 382 × 280 × 104.5mm | 429 × 370 × 134.5mm | 444 × 465 × 144.5mm | |
| 重量 | <７kg | <10kg | <15kg | |
| 波長 | 500 ～ 700（白色光）nm | |||
| スキャンタイプ | エリアスキャン | |||
| スキャンレンジ（Z） | 300 / 600μm | |||
| 垂直分解能 | 3 / 6nm | |||
| HWインタフェース | CXP | |||
| SWインタフェース | TCP/IP | |||
| 三次元測定 及び解析ソフトウェア |
NX-SCANソフトウェア | |||
| 光学系 | 計測エリア | ９ × ６mm | 19 × 13mm | 33 × 22mm |
| WD | 27mm | 80mm | ||
| ピクセル分解能 | 1.95μm | 4.29μm | 7.09μm | |
| NA | 0.09 | 0.0583 | 0.037 | |
| DOF | 100μm | 350μm | 900μm | |
| オプション オートフォーカス |
レンジ | ±200μm | ||
| 時間 | <１s | |||
※ お客様サンプルのデモ測定をご希望の場合はお気軽にご相談ください。
価格
| 商品コード（型番） | 構成/内容 | 価格 |
|---|---|---|
| nXI-2 | 大面積・広範囲３Ｄ白色干渉変位計 nXI-2 | お問い合わせ |
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