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大面積・広範囲3D白色干渉変位計

製品名

nXI-2

高速に大面積・広範囲の形状測定

出展予定展示会 SEMICON Japan 2024
point
  • 最大視野 33mm×22mm
  • 量産ライン向きの高速測定
  • μmスケールの構造の観察が可能
  • ソフトウェア付属

Nexensor社 の nXI-2 は最大33mm×22mmの面積を高速に測定できる3D白色干渉変位計です。

測定サンプルにもよりますが1秒程度時間で測定し、100nmの繰り返し精度があります。コーティングの厚さ、PCBやウェハの凹凸確認にご利用いただけます。

センサの制御には、組み込みインライン用に対応するインタフェイスが提供され、オフラインでの三次元計測・解析用には、付属するアプリケーションソフトウェアNX-SCANをお使いいただけます。


ジオメトリー

プロファイル

ピークカウント

ラフネス

Camera Hole

Coating Thickness

PCB Bumps

Wafer Bumps

仕様

システム 測定原理 3D白色干渉・変位計測技術
タイプ
サイズ 382 × 280 × 104.5mm 429 × 370 × 134.5mm 444 × 465 × 144.5mm
重量 <7kg <10kg <15kg
波長 500 ~ 700(白色光)nm
スキャンタイプ エリアスキャン
スキャンレンジ(Z) 300 / 600μm
垂直分解能 3 / 6nm
HWインタフェース CXP
SWインタフェース TCP/IP
三次元測定
及び解析ソフトウェア
NX-SCANソフトウェア
光学系 計測エリア 9 × 6mm 19 × 13mm 33 × 22mm
WD 27mm 80mm
ピクセル分解能 1.95μm 4.29μm 7.09μm
NA 0.09 0.0583 0.037
DOF 100μm 350μm 900μm
オプション
オートフォーカス
レンジ ±200μm
時間 <1s

※ お客様サンプルのデモ測定をご希望の場合はお気軽にご相談ください。

価格

商品コード(型番) 構成/内容 価格
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