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大面積３Ｄ白色干渉変位計
製品名
nXI-2
製品名
nXI-2
高速に大面積の形状測定
- 最大視野 33mm×22mm
- 量産ライン向きの高速測定
- μmスケールの構造の観察が可能
- ソフトウェア付属
Nexensor社のnXI-2は最大33mm×22mmの面積を高速に測定できる３Ｄ白色干渉変位計です。
測定サンプルにもよりますが１秒程度時間で測定し、100nmの繰り返し精度があります。コーティングの厚さ、PCBやウェハの凹凸確認にご利用いただけます。
センサの制御には、組み込みインライン用に対応するインタフェイスが提供され、オフラインでの三次元計測・解析用には、付属するアプリケーションソフトウェアNX-SCANをお使いいただけます。
ジオメトリー
プロファイル
ピークカウント
ラフネス
Camera Hole
Coating Thickness
PCB Bumps
Wafer Bumps
仕様
| システム | 測定原理 | ３Ｄ白色干渉・変位計測技術 | ||
|---|---|---|---|---|
| タイプ | Ｓ | Ｍ | Ｌ | |
| サイズ | 382 × 280 × 104.5mm | 429 × 370 × 134.5mm | 444 × 465 × 144.5mm | |
| 重量 | <７kg | <10kg | <15kg | |
| 波長 | 500 ～ 700（白色光）nm | |||
| スキャンタイプ | エリアスキャン | |||
| スキャンレンジ（Z） | 300 / 600μm | |||
| 垂直分解能 | 3 / 6nm | |||
| HWインタフェース | CXP | |||
| SWインタフェース | TCP/IP | |||
| 三次元測定 及び解析ソフトウェア |
NX-SCANソフトウェア | |||
| 光学系 | 計測エリア | ９ × ６mm | 19 × 13mm | 33 × 22mm |
| WD | 27mm | 80mm | ||
| ピクセル分解能 | 1.95μm | 4.29μm | 7.09μm | |
| NA | 0.09 | 0.0583 | 0.037 | |
| DOF | 100μm | 350μm | 900μm | |
| オプション オートフォーカス |
レンジ | ±200μm | ||
| 時間 | <１s | |||
※ お客様サンプルのデモ測定をご希望の場合はお気軽にご相談ください。
価格
| 商品コード（型番） | 構成/内容 | 価格 |
|---|---|---|
| nXI-2 | 大面積３Ｄ白色干渉変位計 nXI-2 | お問い合わせ |
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