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顕微鏡型 3D白色干渉変位計  導入しやすい価格帯!

シリーズ名

nXI-5SC/nXI-5STシリーズ

高速にサブマイクロスケールの構造を把握


出展予定展示会 SEMICON Japan 2024
point
  • 1秒以下の測定時間
  • 1回のスキャンで表面と膜の下の構造を測定
  • 段差、幅、角度、体積、粗さ、平坦度などの測定
  • 顕微鏡タイプ、タレットタイプ

Nexensor社 の nXI-5SC/nXI-5ST はサブマイクロスケールの領域の表面構造を精度よく高速に測定する3D白色干渉変位計です。

動作に必要な機器が組み込まれたスタンドアローンのシステムで研究・開発・品質管理に最適です。1秒以下の測定時間で段差、幅、角度、粗さ、平坦度など様々な測定が可能。1μm薄膜の分離が可能で、1度のスキャンで表面と膜の下の構造を測定できます。


ジオメトリー

プロファイル

ピークカウント

ラフネス

Hole

PCB Bumps

Roughness

Wafer Bumps

仕様

システム 測定原理 3D白色干渉・変位計測技術
スキャンタイプ エリアスキャン
スキャンレンジ 200μm
カメラ 解像度:1920×1200 ピクセルサイズ:3.45μm
垂直分解能 5nm
繰返精度 0.2%(Standard/Step Height 10μm)
スキャン時間 <1s
サイズ 363 × 360 × 440mm(x10レンズの場合)
X,Yストローク 70 × 50mm(マニュアル)
Zストローク 30mm(マニュアル)
ステージサイズ 90 × 90mm
内容物 nXI-5SC or nXI-5ST , コントローラー , PC(言語選択:英語、韓国語)
三次元測定
及び解析ソフトウェア
NX-SCANソフトウェア
光学系 レンズ倍率 10x
(nXI-5SC / nXI5-ST)
20x
(nXI-5SC / nXI5-ST)
5x
(nXI-5ST)
50x
(nXI-5ST)
計測エリア 0.662 × 0.414mm 0.331 × 0.207mm 1.324×0.828mm 0.132×0.082mm
WD 7.4mm 4.7mm 10.3mm 3.4mm
ピクセル分解能 0.345μm 0.172μm 0.69μm 0.069μm
NA 0.3 0.4 0.13  
オプション 除振台 400 × 500 × 100mm

※ お客様サンプルのデモ測定をご希望の場合はお気軽にご相談ください。

価格

商品コード(型番) 構成/内容 価格
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