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3D白色干渉顕微鏡・変位計

シリーズ名

nXI-5シリーズ

高速にサブマイクロスケールの構造を把握

出展予定展示会 SEMICON Japan 2024
point
  • 1秒以下の測定時間
  • 1回のスキャンで表面と膜の下の構造を測定
  • 段差、幅、角度、体積、粗さ、平坦度などの測定
  • 顕微鏡タイプ、タレットタイプ

Nexensor社 の nXI-5 はサブマイクロスケールの領域の表面構造を精度よく高速に測定する3D白色干渉顕微鏡・変位計です。

1秒以下の測定時間で段差、幅、角度、粗さ、平坦度など様々な測定が可能です。1μm薄膜の分離が可能で、1度のスキャンで表面と膜の下の構造を測定できます。

センサの制御には、組み込みインライン用に対応するインターフェースが提供され、オフラインでの三次元計測・解析用には、付属するアプリケーションソフトウェアNX-SCANをお使いいただけます。


ジオメトリー

プロファイル

ピークカウント

ラフネス

Hole

PCB Bumps

Roughness

Wafer Bumps

仕様

システム 測定原理 3D白色干渉・変位計測技術
スキャンタイプ エリアスキャン
スキャンレンジ 100 / 400 / 800μm
垂直分解能 0.5 / 2 / 4nm
繰返精度 30nm
スキャン時間 <1秒
サイズ 331 × 182 × 109mm / 331 × 213 × 183mm
重量 <6kg(Z軸モーター含まず)
HWインターフェース CXP
SWインターフェース TCPI/IP
三次元測定
及び解析ソフトウェア
NX-SCANソフトウェア
光学系 レンズ倍率 10x 20x 50x 100x
計測エリア 0.96 × 0.96mm 0.48 × 0.48mm 0.192 × 0.192mm 0.096 × 0.096mm
WD 7.4mm 4.7mm 3.4mm 2mm
ピクセル分解能 1μm 0.5μm 0.2μm 0.1μm
NA 0.3 0.4 0.55 0.7
オプション
オートフォーカス
レンジ ±200μm
時間 <0.5s
システムタイプ
標準
タレット
コンパクト

※ お客様サンプルのデモ測定をご希望の場合はお気軽にご相談ください。

価格

商品コード(型番) 構成/内容 価格
nXI-5 3D白色干渉顕微鏡・変位計 標準タイプ nXI-5 お問い合わせ
nXI-5T 3D白色干渉顕微鏡・変位計 タレットタイプ nXI-5T お問い合わせ
nXI-5C 3D白色干渉顕微鏡・変位計 コンパクトタイプ nXI-5C お問い合わせ
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