※画面を横にするとパソコン版のレイアウトでご覧いただけます。
 正しく表示されていない場合は横向きでご覧ください。
  1. HOME
  2. 商品検索:カテゴリ
  3. 3D白色干渉顕微鏡・変位計 Nexensor
  4. 3D自由面測定システム スタンドアローンタイプ nXF-3D

3D自由面測定システム スタンドアローンタイプ

製品名

nXF-3D

12インチウェハーをワンショットで測定し反りとWarpage、Bowを検査

出展予定展示会 SEMICON Japan 2024
point
  • 2D,3Dのデータを1度に取得
  • ウェハー全体をワンショット測定し反りを検査
  • WarpageとBowも測定可能
  • 最大視野 310×310mmを15秒で測定
  • 反りの高さ計測 最大5mmに対応
  • 反射面の測定
  • 専用ソフトウェア付属
  • 専用測定ケースで毎回同じ環境での計測を実現

Nexensor社 の nXF-3D は12インチウェハー全体の反り、WarpageとBowを一度に測定、検査ができる3D測定装置です。

ウェハーだけでなく高反射面や透明な面の測定に向いており、定量的で正確な測定が可能です。フィルムの表面、二次電池パウチ、水素電池の薄板、自動車表面の反りや傷の測定などにもご利用いただけます。


Wafer warpage

Wafer warpage

Battery

Automotive

仕様

システム 測定原理 3D白色干渉・変位計測技術
スキャンタイプ エリアスキャン
繰り返し精度 <1μm
計測時間 <5秒
測定データ取得時間 15秒
光源波長 400 ~ 700nm
三次元測定
及び解析ソフトウェア
NX-SCANソフトウェア
光学系 計測視野 310 × 310mm2
WD 430mm
ピクセル分解能 60.5

※ お客様サンプルのデモ測定をご希望の場合はお気軽にご相談ください。

価格

商品コード(型番) 構成/内容 価格
nXF-3D 3D自由面測定システム スタンドアローンタイプ nXF-3D お問い合わせ
  1. HOME
  2. 商品検索:カテゴリ
  3. 3D白色干渉顕微鏡・変位計 Nexensor
  4. 3D自由面測定システム スタンドアローンタイプ nXF-3D
ページ上部へ戻る