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- ３Ｄ自由面測定システム スタンドアローンタイプ nXF-3D
３Ｄ自由面測定システム スタンドアローンタイプ
製品名
nXF-3D
製品名
nXF-3D
最大310mm角の広い視野のWarpageとBowをワンショットで測定
- ２Ｄ,３Ｄのデータを１度に取得
- ウェハー全体をワンショット測定
- 最大視野 310×310mm
- 反射面の測定
- 専用ソフトウェア付属
- 専用測定ケースで毎回同じ環境での計測を実現
Nexensor社のnXF-3Dは12インチウェハ全体のWarpageとBowを一度に測定できる３Ｄ測定装置です。ウェハだけでなく高反射面や透明な面の測定に向いており、定量的で正確な測定が可能です。
フィルムの表面、二次電池パウチ、水素電池の薄板、自動車表面の反りや傷の測定などにもご利用いただけます。
Wafer warpage
Wafer warpage
Battery
Automotive
仕様
| システム | 測定原理 | ３Ｄ白色干渉・変位計測技術 |
|---|---|---|
| スキャンタイプ | エリアスキャン | |
| 繰り返し精度 | <１μm | |
| 計測時間 | <５秒 | |
| 測定データ取得時間 | 15秒 | |
| 光源波長 | 400 ～ 700nm | |
| 三次元測定 及び解析ソフトウェア |
NX-SCANソフトウェア | |
| 光学系 | 計測視野 | 310 × 310mm2 |
| WD | 430mm | |
| ピクセル分解能 | 60.5 |
※ お客様サンプルのデモ測定をご希望の場合はお気軽にご相談ください。
価格
| 商品コード（型番） | 構成/内容 | 価格 |
|---|---|---|
| nXF-3D | ３Ｄ自由面測定システム スタンドアローンタイプ nXF-3D | お問い合わせ |
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