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高解像度・リアルタイム波面センサ

製品名

SEBI RT1000

独自の波面位相イメージング(WFPI)技術


point
  • 高解像度の波面位相空間サンプリング(1000 × 1000)
  • リアルタイム処理(30fps)
  • 波面精度 <λ/30 RMS
  • 光学特性評価、材料検査、動的試料のリアルタイム観察
  • ビューワソフト付属

Wooptix社 SEBI® RT1000は、リアルタイム処理機能を備えた高解像度波面センサです。

独自の波面位相イメージング(Wavefront Phase Imaging = WFPI)により、電気可変レンズ(ETL)を用いた2枚のデフォーカス強度画像から、被測定サンプルの波面位相マップを復元します。波面位相を1000×1000ピクセルで空間サンプリングし、30fpsのリアルタイム処理と波面精度<λ/30 RMSを実現します。透過/反射性のサンプルに対し、ナノメートルレンジの位相データ取得が可能です。光学特性評価、材料検査、品質管理に活用できます。


マイクロレンズアレイ

フレネルレンズ

キャリブレーション
ターゲット

刻印入り
シリコンウェハー

レンズの非点収差

レーザー
商品コード SEBI RT1000
位相サンプリング 1000 × 1000
ラテラル解像度(横方向分解能) 12.5 μm
開口寸法 15 × 15mm
繰り返し精度 ~λ/30 RMS
波面精度 <λ/30 RMS
テンポラルノイズ(精度) ≤ 0.50mm at 1m
波長域 380 ~ 650nm
取得レート(リアルタイム処理) 30fps
インターフェイス USB3.0
対応OS Windows

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SEBI® Analyzer Suite

SEBI® RT1000には、専用のビューワソフトウェア「SEBI® Analyzer Suite」が付属します。このソフトでは位相マップと強度をフル解像度でリアルタイムに取得することができます。

また測定対象試料の光路差(OPD)を算出および詳細な分析を可能にします。

「SEBI® Analyzer Suite」を使用することで取得した情報を適切に処理することができます(例:ゼルニケ係数のフィルタリングなど)。

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光学計測

被測定試料の光路差(OPD)を測定することで、その形状を評価し製造後の情報を得ることができます。

材料試験

マイクロレンズアレイの
2Dおよび3D波面OPDマップ

透明な試料の表面で溶媒が蒸発する過程を
リアルタイムで捉えた3D波面OPDマップ

材料の表面を検査し、その仕上げや品質を確認できます。

定量位相イメージング

細胞の増殖や運動の模倣

屈折率の異なる2つの液体の相互作用を示す
リアルタイム3D波面OPDマップ

生体試料の変化をリアルタイムで記録できます。

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SEBI® RT1000は、シャックハルトマン(SH)式波面センサと比較すると、平面/奥行ともにより高い分解能を示します。

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商品コード(型番) 構成/内容 価格
SEBI RT1000 高解像度・リアルタイム波面センサ お問い合わせ

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