CQDセンサーを利用したSWIR（赤外線短波長）カメラ Acurosシリーズ SWIR Vision Systems | 赤外線カメラ・パイロメーター

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高解像度近赤外イメージング Acurosシリーズ

CQDセンサーを利用したSWIR（赤外線短波長）カメラ

シリーズ名
Acurosシリーズ

コロイド量子ドットセンサー搭載
最大200万画素／可視～近赤外（350nm～2000nm）の撮影

CQD（コロイド量子ドット）SWIRセンサー（特許）
最大200万画素の高解像度
350nm～2000nmの広い波長域の撮影
最大61mm×61mm×132mm、594gの小型軽量
Gen<i>cam, USB3.0Vision 対応

カタログPDF

SWIR Vision Systems社のAcuros CQDカメラシリーズは、コロイド量子ドットをセンサーに利用した、新しい近赤外線短波長（SWIR）カメラシリーズです。

従来のInGaAsセンサーに比べ、ピクセルサイズが小さくできるため、高解像度化、小型化を達成しました。
また350nm～2000nmの幅広い波長に感度を持ち、可視領域と近赤外線領域を同時に撮影可能です。センサーを封止するガラスを極力薄くし、干渉を極力抑えたレーザービームプロファイル観察用モデルもあります。

最大200万画素のAcuros CQDカメラは、Gen<i>cam、USB3.0Visionに対応し、一般的なプラットフォームでご利用いただけます。

ラインナップ
アプリケーション
AcurosCQD
センサー（特許）
レーザービーム
プロファイルモデル
サンプル画像・動画

カメラモデル	解像度	最大fps	インターフェース	Vis-SWIR	レンズマウント
Acuros CQD 640 Acuros CQD 640L	640×512	270fps	GigE USB3.0	400 - 1700nm	C / F
Acuros CQD 640 eSWIR Acuros CQD 640L eSWIR	640×512	270fps	GigE USB3.0	350 - 2000nm	C / F
Acuros CQD 1280 Acuros CQD 1280L	1280×1024	88fps	GigE USB3.0	400 - 1700nm	C / F
Acuros CQD 1280 eSWIR Acuros CQD 1280L eSWIR	1280×1024	88fps	GigE USB3.0	350 - 2000nm	C / F
Acuros CQD 1920 Acuros CQD 1920L	1920×1080	58fps	GigE USB3.0	400 - 1700nm	F
Acuros CQD 1920 eSWIR Acuros CQD 1920L eSWIR	1920×1080	58fps	GigE USB3.0	350 - 2000nm	F

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接合されたシリコンウェハペアとアライメントマスクの検査

SWIRの波長領域ではシリコン透過率が高いため、SWIRカメラを使うと内部の状況が透過して見える。

接合されたシリコンウェハのアライメントマーク（画像Ａ）や、封止用のシールリング（画像Ｂ）が確認できる。可視カメラで撮影すると、シリコンウェハは可視領域の透過率が低いので、アライメントマークやシールリングは確認できない。

この画像は Acuros CQD 1280 を使って撮影されている。

半導体ダイエッジのエッジクラックの検査

Acuros CQD 1920 SWIRカメラを使うと、半導体ダイエッジは発生する5-10μm幅のクラックやダイシングツールによる摩耗が確認できる。

SWIR LEDを背後から照射し、NavitarのREsolv4Kレンズを取り付けて、厚さ650μmのダイエッジを撮影した画像。

不透明なプラスチックパッケージの画像検査

画像（Ａ）の可視カメラで撮影した画像ではジッパーや真空封止部分は確認できないが、画像（Ｂ）のSWIRカメラで撮影した画像ではそれらの状態が明瞭に確認できる。

この画像は1450nmのSWIR LEDを照明として使い、Acuros CQD 1280 SWIRカメラ（露光時間 10msec）で撮影された画像。

食品パッケージの画像検査

可視カメラの画像とSWIRカメラの画像の比較で明らかなように、包装内に食品があるか、ないか、どのような状態かを確認できる。

画像（Ａ）（Ｂ）はハロゲンランプを背面から照射、画像（Ｃ）は正面から照射し、それぞれ透過画像、反射画像を Acuros CQD 1920 SWIRカメラで撮影している。

霞んだ環境での長距離のSWIRイメージング

可視カメラの画像（Ａ）では遠くのビルは霞んで確認できないが、SWIRカメラを使うと、霞みを透過してビルがはっきりと確認できる。

ビルのある街から約35km離れた約600mの山の上から Acuros CQD 1920 SWIRカメラで撮影している。

プラスチックラベルを透過して医薬品バイアルの充填レベルの検査

可視カメラ（画像Ａ）でバイアルを撮影すると、ラベルや容器の色によって液面がどこにあるか確認が難しい。

SWIR領域では水による光の吸収が強い部分があり、水がある部分だけ黒く観察することができる。

この画像（Ｂ）は1450nmのLEDをバイアル背後から照射し、フィルターを使わず Acuros CQD 1280 SWIRカメラで撮影された。

セパレーターを透過したカソード、アノードの検査

リチウムイオンバッテリーはカソード、アノード、セパレーターの重ね合わせで構成されている。

可視カメラの場合、カソードやアノードはセパレーターに覆われて画像に映らないが、Acuros eSWIRモデルを利用すると、セパレーターを透過してアノードやカソードを観察できる。

そのため、重ね合わせ位置の検査や各構造間の異物検査に利用できます。

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Acuros CQDセンサー（特許）とは

SWIR Vision Systems社はシリコンウェハーにコロイド量子ドットのフォトダイオード膜を張った、近赤外短波長（SWIR）に感度のある新しいイメージセンサーを開発しました。
この技術では低コストの半導体技術を利用し、量子ドットベースのセンサーをCMOS読み出し回路に直接作ることができ、ウェハー製造に容易に適用できます。