・半導体テスターヘッド搭載用ズームスコープ
・ズーム比 7 : 1
・光学倍率 0.35x 〜 6.7x
・13"モニター上倍率21x 〜 280x
・FOV 14x18mm 〜 0.7x0.1mm
・作動距離 150mm 〜43mm
・N.A. 0.18 〜 0.1
・焦点深度 4.5mm 〜 0.11mm
・X-Y制御機構&コントローラー
※仕様範囲は組み合わせ構成によって変わります。
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OPTEMシリーズのHFビデオマイクロスコープは半導体テスター用に開発されたズーム顕微鏡システムです。半導体ウェーハーの大口径化でプロービングテストヘッドから顕微鏡接眼鏡は更に上部へ設置され高いポジショニングはオペレーターにとって作業負担は多大です。
HFビデオマイクロスコープ・システムはビデオモニター上に半導体テスター内のウエハーイメージージを提供することができるズーム顕微鏡システムです。 テスター内部へは直径54mmの鏡筒に収まり、このコンパクトな光学システムは、63.5mm(2.5")を越える口径サイズの様々なテストヘッドに取り付け可能です。
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