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- ３Ｄ白色干渉顕微鏡・変位計 Nexensor
- 顕微鏡型 ３Ｄ白色干渉変位計 nXI-5SC/nXI-5ST
顕微鏡型 ３Ｄ白色干渉変位計 導入しやすい価格帯！
シリーズ名
nXI-5SC/nXI-5STシリーズ
シリーズ名
nXI-5SC/nXI-5STシリーズ
高速にサブマイクロスケールの構造を把握
- １秒以下の測定時間
- １回のスキャンで表面と膜の下の構造を測定
- 段差、幅、角度、体積、粗さ、平坦度などの測定
- 顕微鏡タイプ、タレットタイプ
Nexensor社のnXI-5SC/nXI-5STはサブマイクロスケールの領域の表面構造を精度よく高速に測定する３Ｄ白色干渉変位計です。
動作に必要な機器が組み込まれたスタンドアローンのシステムで研究・開発・品質管理に最適です。１秒以下の測定時間で段差、幅、角度、粗さ、平坦度など様々な測定が可能。１μｍ薄膜の分離が可能で、１度のスキャンで表面と膜の下の構造を測定できます。
ジオメトリー
プロファイル
ピークカウント
ラフネス
Hole
PCB Bumps
Roughness
Wafer Bumps
仕様
| システム | 測定原理 | ３Ｄ白色干渉・変位計測技術 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| スキャンタイプ | エリアスキャン | ||||
| スキャンレンジ | 200μm | ||||
| カメラ | 解像度：1920×1200 ピクセルサイズ：3.45μm | ||||
| 垂直分解能 | ５nm | ||||
| 繰返精度 | 0.2%（Standard/Step Height 10μm） | ||||
| スキャン時間 | ＜１s | ||||
| サイズ | 363 × 360 × 440mm（x10レンズの場合） | ||||
| X,Yストローク | 70 × 50mm（マニュアル） | ||||
| Zストローク | 30mm（マニュアル） | ||||
| ステージサイズ | 90 × 90mm | ||||
| 内容物 | nXI-5SC or nXI-5ST , コントローラー , PC（言語選択：英語、韓国語） | ||||
| 三次元測定 及び解析ソフトウェア |
NX-SCANソフトウェア | ||||
| 光学系 | レンズ倍率 | 10x （nXI-5SC / nXI5-ST） |
20x （nXI-5SC / nXI5-ST） |
5x （nXI-5ST） |
50x （nXI-5ST） |
| 計測エリア | 0.662 × 0.414mm | 0.331 × 0.207mm | 1.324×0.828mm | 0.132×0.082mm | |
| WD | 7.4mm | 4.7mm | 10.3mm | 3.4mm | |
| ピクセル分解能 | 0.345μm | 0.172μm | 0.69μm | 0.069μm | |
| NA | 0.3 | 0.4 | 0.13 | ||
| オプション | 除振台 | 400 × 500 × 100mm | |||
※ お客様サンプルのデモ測定をご希望の場合はお気軽にご相談ください。
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